云南真空镀膜设备公司

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【光谱分光不良的补救(补色)之机器故障和人为中断】: 分光不良分为二种情况:一是全部膜系镀制完成后,经测试分光不良,此类不良主要按六节所述方法处理,一般减反膜难以补救。但对于高反膜、带通滤光膜等可以通过加层的方法补救。二是镀制中途中断(包括发现错误中断)造成的分光不良,一般都可以通过后续努力补救。后续方法正确,补救成功率比较高。 中断的原因形式之机器故障和人为中断: 模拟:根据已经实镀的镜片(测试比较片)实测分光数据输入计算机膜系设计程序的优化目标值,再根据已经掌握的膜系信息输入,采用倒推法逐层优化,模拟出实际镀制的膜系数据。 *测试比较片是指随镜片一起镀制(在伞片上、与镜片同折射率),用于测试镀后分光曲线的平片。 优化:再锁定通过模拟得到的膜系数据,通过后续层膜厚优化找到实现目标的Zui佳方案。 试镀:根据新优化的后续膜层数据,试镀若干镜片或测试片,确认补色膜系的可行性。 补色镀:对试镀情况确认后实施补色镀。补色镀前,确认基片是否洁净,防止产生其他不良。真空镀膜设备怎么保养?云南真空镀膜设备公司

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【真空镀膜真空溅射法】: 真空溅射法是物理qi相沉积法中的后起之秀。随着高纯靶材料和高纯气体制备技术的发展,溅射镀膜技术飞速发展,在多元合金薄膜的制备方面显示出独到之处。其原理为:稀薄的空气在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下,对阴极靶材料表面进行轰击,把靶材料表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来,被溅射出来的粒子带有一定的动能,沿一定的方法射向基体表面,在基体表面形成镀层。特点为:镀膜层与基材的结合力强;镀膜层致密、均匀;设备简单,操作方便,容易控制。 主要的溅射方法有直流溅射、射频溅射、磁控溅射等。目前应用较多的是磁控溅射法。湖北真空镀膜设备招聘真空镀膜设备怎么维修。

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【光谱分光不良的补救(补色)之其他情况】:分光不良分为二种情况:一是全部膜系镀制完成后,经测试分光不良,此类不良主要按六节所述方法处理,一般减反膜难以补救。但对于高反膜、带通滤光膜等可以通过加层的方法补救。二是镀制中途中断(包括发现错误中断)造成的分光不良,一般都可以通过后续努力补救。后续方法正确,补救成功率比较高。中断的原因形式之其他情况:对于用错程序,错误操作(预熔未关闭挡板等)人为中断需要补救的;以及反光膜、滤光膜镀后需要补救的情况处理方案:模拟:将实测分光数据输入计算机膜系设计程序的优化目标值。通过计算机模拟(一般是Zui后一层的膜厚确认),找到与实现测试值结果相应的膜系数据。优化:根据模拟得到的膜系数据,输入产品要求的优化目标值,通过加层、优化后续膜层的方法,重新优化设计一个补救膜系。试镀:确认、完善补救膜系效果补救镀:完成补救工作

【真空蒸镀的历史】:1857年MichaelFaradayZui早提出基本原理,而后、1930年代由于油扩散式真空泵实用化、蒸镀主要用于制作镜片防反射膜。第二次世界大战时,其他的光学机器对材料的需求提高,真空蒸镀也因此快速发展。【真空蒸镀的原理】:在真空状态下,加热蒸发容器中的靶材,使其原子或分子逸出,沉积在目标物体表面,形成固态薄膜。依蒸镀材料、基板的种类可分为:抵抗加热、电子束、高周波诱导、雷射等加热方式。蒸镀材料有铝、亚铅、金、银、白金、镍等金属材料与可产生光学特性薄膜的材料,主要有使用SiO2、TiO2、ZrO2、MgF2等氧化物与氟化物。蒸镀除金属外,树脂与玻璃也可以使用、近年来连纸也变成可蒸镀。【蒸发镀膜的优缺点】:优点:设备简单、容易操作;成膜的速率快,效率高。缺点:薄膜的厚度均匀性不易控制,蒸发容器有污染的隐患,工艺重复性不好,附着力不高。真空镀膜设备是什么?

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【近些年来出现的新的镀膜方法】: 除蒸发法和溅射法外,人们又综合了这两种方法的优缺点,取长补短,发展出一些新的方法,如:等离子体束溅射等。这种崭新的技术结合了蒸发镀的高效和溅射镀的高性能特点,特别在多元合金以及磁性薄膜的制备方面,具有其它手段无可比拟的优点。高效率等离子体溅射(High Target Utilization Plasma Sputtering(HiTUS))实际上是由利用射频功率产生的等离子体聚束线圈、偏压电源组成的一个溅射镀膜系统。这种离子体源装置在真空室的侧面。如图1所示。图2为实际的镀膜机照片。该等离子体束在电磁场的作用下被引导到靶上,在靶的表面形成高密度等离子体。同时靶连接有DC/RF偏压电源,从而实现高效可控的等离子体溅射。等离子体发生装置与真空室的分离设计是实现溅射工艺参数宽范围可控的关键,而这种广阔的可控性使得特定的应用能确定工艺参数Zui优化。 与通常的磁控溅射相比,由于磁控靶磁场的存在而在靶材表面形成刻蚀环不同,HiTUS系统由于取消了靶材背面的磁铁,从而能对靶的材料实现全mian积均匀。云南真空镀膜设备公司

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